Date：2017-06-01 Number：4986
fpc軟板生產(chǎn)制程中，影響蝕刻速度和品質(zhì)的主要因子有這些：溫度、攪拌、化學(xué)設(shè)備。溫度和攪拌是受到生產(chǎn)機(jī)械的控制，可以作為一個(gè)整體制程品質(zhì)觀察指標(biāo)。多數(shù)蝕刻機(jī)是水準(zhǔn)傳送結(jié)構(gòu)，并具有超過一個(gè)以上的噴流段，有獨(dú)立的控制、搖擺噴流管、頂部和底部調(diào)整機(jī)構(gòu)、承接回流蝕刻劑的母槽進(jìn)行補(bǔ)充或取代。后續(xù)的機(jī)構(gòu)和間隔沿著輸送機(jī)構(gòu)配置，水洗中和蝕刻劑殘留并進(jìn)行蝕刻后的化學(xué)處理。
采用噴流來輔助強(qiáng)制讓新鮮蝕刻溶液進(jìn)入狹窄的空間，因此可以增加生產(chǎn)速度。噴流會(huì)有某種程度的制程方向性，它傾向在噴流動(dòng)量的方向增加蝕刻速率，而相對(duì)降低不期待的橫向方向構(gòu)建，垂直蝕刻機(jī)強(qiáng)調(diào)的優(yōu)勢(shì)是制程會(huì)更均勻，因?yàn)闆]有水準(zhǔn)機(jī)械的水滯效應(yīng)影響均勻度。不過在上方的邊緣會(huì)傾向于更快的蝕刻，因?yàn)槿芤嚎偸菑耐粋€(gè)方向流失。
水準(zhǔn)設(shè)備制作是比較簡(jiǎn)單也普遍被業(yè)者使用的模式，當(dāng)片狀軟板上增加蝕刻劑會(huì)在材料上方聚集成為水滯并降低反應(yīng)速率，這方面可以強(qiáng)制調(diào)整頂部對(duì)底部的噴嘴壓力或只使用底部來應(yīng)對(duì)特定產(chǎn)品。關(guān)掉頂部噴嘴會(huì)減半雙面板的產(chǎn)出，但是可以增加可能的控制能力來補(bǔ)償增加成本，特別是在一些細(xì)線路的產(chǎn)品應(yīng)用。噴嘴的配置和操作壓力會(huì)明顯沖擊蝕刻速度和均勻度，各個(gè)機(jī)械必須小心評(píng)估測(cè)量測(cè)試片和調(diào)整產(chǎn)出速度，操作壓力、噴嘴尺寸、搖擺頻率和化學(xué)品狀態(tài)必須要取得佳的妥協(xié)。
水準(zhǔn)輸送設(shè)備比較難以操作fpc基材，可能需要以膠帶黏貼導(dǎo)引板到軟板基材上，引導(dǎo)他通過水準(zhǔn)輸送系統(tǒng)。水準(zhǔn)輸送設(shè)備的設(shè)計(jì)，頂部和底部滾輪都有驅(qū)動(dòng)齒輪在各個(gè)邊同時(shí)有噴洗管。這個(gè)復(fù)雜設(shè)計(jì)的目的，是要提供大的暴露空間給頂部和底部基材表面，同時(shí)提供可靠的傳輸能力，但是需要將滾輪的軸縮小并重疊滾輪和搭配均勻噴流。
近一些從業(yè)者提出了二流體蝕刻設(shè)備的概念，其所強(qiáng)調(diào)的技術(shù)重點(diǎn)，是利用高壓空氣和蝕刻噴流系統(tǒng)混合，進(jìn)行銅箔的蝕刻作業(yè)。這類系統(tǒng)采用的是過蝕操作，利用高解析度的光阻和比較大的補(bǔ)償設(shè)計(jì)，來進(jìn)行fpc線路制作。目前宣稱的制作能力，可以在厚度15um左右的銅箔上制作出15/15um的線寬間距。目前已經(jīng)有部分廠商采用這類設(shè)備制作很細(xì)的線路。
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